Procédés de fabrication de microsystèmes

1er cycle

Préalable(s) ELE312 Sigle ELE676 Responsable Département de génie électrique Cycle 1 er Crédits 3 Charge de travail Cours (39h) Laboratoire ou travaux pratiques (24h) Travaux personnels (72h) Plan du cours Site du cours Horaire ELE676 - Procédés de fabrication de microsystèmes Ce cours vise à maitriser les fondements et les applications des procédés de microfabrication de microsystèmes électroniques, optoélectroniques et de capteurs. Au terme de ce cours, la personne étudiante sera en mesure de : décrire les procédés de microfabrication ainsi que leurs avantages et limites; expliquer les principes physiques, les mécanismes d'opération et les matériaux associés aux microsystèmes; calculer les paramètres clés des procédés de microfabrication; appliquer les procédés de microfabrication en laboratoire, incluant le travail en salle blanche et le respect des protocoles de sécurité; analyser des articles scientifiques en lien avec la microfabrication afin d'en extraire les éléments pertinents pour une application ou une discussion technique; concevoir un enchainement de procédés adaptés à un microsystème donné. Éléments de contenu : microfabrication. Microsystèmes électroniques et optoélectroniques. Dispositifs à semiconducteurs. Capteurs physiques, chimiques et optiques. Salle blanche. Protocoles de sécurité. Photolithographie. Dépôt de couches minces. Gravure humide et sèche. Oxydation thermique. Diffusion. Dopage ionique. Épitaxie. Substrats et matériaux semi-conducteurs. Technologie CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor). Systèmes microélectromécaniques (MEMS). Électronique imprimée. Méthodes de caractérisation. Rendement et fiabilité.