Microsystèmes électromécaniques

1er cycle

Sigle ELE797 Responsable Département de génie électrique Cycle 1 er Crédits 3 Charge de travail Cours (39h) Laboratoire ou travaux pratiques (36h) Travaux personnels (105h) Site du cours ELE797 - Microsystèmes électromécaniques Ce cours vise à l'initiation aux concepts fondamentaux de la fabrication, de l'analyse et de la conception des microsystèmes électromécaniques (MEMS) en mettant l'accent sur les applications multi-physiques et les systèmes avancés de capteurs et d'actionneurs. Au terme de ce cours, la personne étudiante sera en mesure de : expliquer les concepts de base de la microfabrication des microsystèmes électromécaniques; analyser les performances des microsystèmes électromécaniques dans différentes applications multi-physiques; concevoir des microsystèmes électromécaniques pour des applications de capteurs et d'actionneurs; identifier les limitations de performance des microsystèmes électromécaniques; simuler des microsystèmes électromécaniques à l'aide d'outils d'analyse à éléments finis. Éléments de contenu : introduction aux microsystèmes électro-mécaniques utilisés dans les systèmes radiofréquences, optiques et les dispositifs intelligents. Considérations physiques, mécaniques et électriques. Mécanismes de transduction. Circuits d'interfaçage pour microsystèmes électromécaniques. Méthodologie de conception : modélisation, simulation et analyse de performance. Applications des micro-structures : résonateur, miroir, bolomètre, accéléromètre, récupérateur d'énergie, etc.